真空泵的分類介紹

真空泵可以按不同的工作原理、真空度及結構特點進行分類。

　　1.按工作原理分類

　　按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類型，包括氣體轉移式真空泵和氣體捕獲式真空泵。氣體轉移泵是一種能使氣體不斷地吸人和排出，借以達到抽氣目的的真空泵。該種泵基本上有變容真空泵和動量傳輸泵兩種類型。氣體捕獲泵是一種使氣體分子被吸附或凝結在泵的內表面上，從而減小了容器內氣體分子數目而達到抽氣目的的真空泵。其中活塞式真空泵、旋片式真空泵、分子真空泵、螺桿式真空泵、噴射真空泵、擴散泵等是幾種有代表性的泵型。

　　2.按真空度分類

　　目前真空技術設計的壓力范圍達100～10-16kPa。這么寬的壓力范圍，除了粗真空和低真空可以用一種真空泵獲得外，高真空以上的領域必須應用兩種以上真空泵機組來完成。按照真空度從高/超真空到粗/低真空，真空泵大致可分14大類：即高/超真空一低溫泵、分子泵、濺射離子泵、鈦升華泵、擴散泵，中真空一干泵、雙級旋片泵、羅茨泵、油增壓泵、水蒸氣噴射泵、粗/低真空一單級旋片泵、滑閥泵、液環泵、往復式真空泵。

　　3.按結構特點分類

　　(1)機械式真空泵

　　在各種真空設備中，凡使用機械運動(轉動或滑動)不斷改變泵內吸氣容腔的容積而獲得真空的泵常稱機械真空泵。機械式容積真空泵靠機械運動使泵腔工作容積周期變化，來實現抽氣作用的是機械式容積真空泵。屬于這類泵的有往復式真空泵、旋轉式機械泵(包括旋片式、螺桿式、羅茨式、液環式等)。這類泵中除機械增壓泵外，一般均可單獨使用。

　　此外，分子泵也是一種機械真空泵。它是利用高速旋轉的轉子把動量傳輸給氣體分子，使之獲得定向速度，從而被壓縮、被驅向排氣口后為前級抽走的一種真空泵。

　　(2)射流式真空泵

　　噴射真空泵是由噴嘴、吸入室、擴壓管三部分組成。其本身沒有運動部件，利用流體傳遞能量和質量。它利用具有一定壓力的工作流體通過噴嘴高速噴出，通過能量轉換，在噴嘴出口形成真空，從而將被抽介質吸引出來，兩股介質在擴壓管內進行混合及能量交換，最后以略高于大氣壓而排出。屬于這類泵的有水蒸氣噴射泵、空氣噴射泵、水噴射泵以及各種擴散泵等。